一.序
??LCD顯示屏之用途以電腦、手提電話(huà)以至在電視上的需要也正在急速的增長(cháng)。
各LCD顯示屏廠(chǎng)商為增加產(chǎn)量簡(jiǎn)化生產(chǎn)工序、減低成本等,正在不斷地努力,在a-siTFT之顯示屏中,為增加產(chǎn)量特別把母玻璃尺寸增大之事宜作出測試。
??示圖1 母玻璃尺寸在2001年第5期時(shí)(1200mm*1200mm級)、2002~2003年時(shí)第5+期(1100mm*1250mm級)及6期(1250mm*1650mm級)等尺寸的生產(chǎn)予預測速度。
圖1 母玻璃尺寸
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母玻璃尺寸之推移
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??HC-4意像圖 |
??此論文、目的是介紹在開(kāi)發(fā)過(guò)程中,研究出對大型LCD基板主要之洗凈技術(shù)成果。
二.清洗SEAL
??對于清洗玻璃基板時(shí),主要清洗分別以微粒子污染、有機物、金屬物去微粒子的SEAL,與有關(guān)尼龍毛刷加以說(shuō)明。
??1)隨著(zhù)玻璃基板之大型化,以刷輥清洗方式進(jìn)行時(shí),接觸面增大時(shí)磨擦力也隨之增加的情況下,運送時(shí)出現有不安定及洗凈效果不均等情況。
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??2)按此問(wèn)題計算,刷毛之直徑從本來(lái)的0.07mm改為0.05mm。增加植毛密度(3倍)后刷毛的測試參數如下圖2:
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圖2 刷毛之按著(zhù)力量及摩擦力
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??接著(zhù)力增加時(shí),刷毛直徑0.07玻璃基板表面之摩擦力比例引對地增加。當刷毛直徑0.05mm時(shí)所產(chǎn)生之摩擦力一定會(huì )比前者少。
??在玻璃基板運送時(shí)之影響也有一定之改善。
??以2種不同直徑毛刷之洗凈評價(jià)結果如下圖3。而毛刷直徑0.07mm的洗凈性能與毛刷之滾動(dòng)數有相對關(guān)系,0.05mm毛刷是以較闊范圍的滾動(dòng),使它有洗凈的安全性。這個(gè)也與植毛之密度高的效果下有直接關(guān)系。
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圖3 殘留粒子的評價(jià)
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